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光栅传感器

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光栅传感器概述

光栅传感器实际上是光电传感器的一个特殊应用。由于光栅测量具有结构简单、测量精度高、易于实现自动化和数字化等优点,因而得到了广泛的应用。

光栅主要由标尺光栅光栅读数头两部分组成。通常,标尺光栅固定在活动部件上, 如机床的工作台或丝杆上。光栅读数头则安装在固定部件上,如机床的底座上。当活动部件移动时,读数头和标尺光栅也就随之做相对的移动。

光栅传感器原理

光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的把光栅常数相等的主光栅和指示光栅相对叠合在一起片间留有很小的问隙, 并使两者栅线之阿保持很小的夹角(0),于是在近乎垂直栅线的方向上出现明暗相间的条纹, 如图所示在一线上两光栅的栅线彼此重合, 光线从缝隙中通过, 形成亮纹在一线上, 两光线的栅线彼此错开, 形成暗纹, 这种明暗相间的条纹称为莫尔条纹由图可以看出, 莫尔条纹的斜率为

原理

由此可见, 莫尔条纹的宽度由光栅常数与光栅的夹角决定对于给定的光栅常数的两光栅, 夹角愈小, 条纹宽度愈大, 即条纹愈稀所以通过调整夹角, 可使条纹宽度为任何所需要的值当两叠合的光栅沿垂直于栅线方向相对运动时, 莫尔条纹就沿夹角口平分线的方向移动两光栅相对移过一个光栅常数,莫尔条纹移过一个条纹问距,通过测量条纹间距移动的距离, 可得到光栅移动的位移。

莫尔条纹形成示意图


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